量测设备作为晶圆制造工艺核心设备之一，近年来价值量占比已超10%,仅次于光刻机、薄膜沉积、刻蚀设备的第四大工艺设备，成长性快于半导体设备行业，且行业竞争格局由KLA、HitachiHigh-tech、AppliedMaterials等少数几家企业垄断，是十分好的投资赛道。