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3D NAND产业格局&长江存储对国内设备的弹性测算
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在长江存储截至目前可查的设备采购清单中,国内设备厂商在刻蚀机、物理气相沉积设备(PVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、立式炉设备、清洗机设备、干法去胶设备、化学机械抛光设备等主要领域都实现了突破,代表性的企业包括刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson、沈阳拓荆、、华海清科等; 单个领域实现突破的设备厂商有: 刻蚀设备龙头A公司的CCP刻蚀设备、盛美半导体的单片式清洗设备、华海清科的化学机械抛光设备和沈阳拓荆的PECVD设备; 多个领域实现突破的设备厂商有: 北方华创的立式炉设备、PVD设备、ICP刻蚀设备、槽式清洗设备; Mattson的CCP刻蚀设备和干法去胶设备; 尚未实现突破的领域包括光刻设备、涂胶显影设备、ALD设备、离子注入设备、过程控制设备、晶圆则试机、探针台等; 我们假设,目前已经采购的设备对应的是20k/月的产能,且未来随着长江存储未来的扩产,设备的需求量线性的增加,国内厂商可以覆盖的工序会逐渐增多,细分领域的设备占比预期会进一步提升; 【更多详情,请下载:3D NAND产业格局&长江存储对国内设备的弹性测算】
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